小型高压交流等离子体电源模块的设计与研究

doi:10.13234/j.issn.2095-2805.2025.5.297

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电源学报 ›› 2025, Vol. 23 ›› Issue (5) : 297-305. DOI: 10.13234/j.issn.2095-2805.2025.5.297

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小型高压交流等离子体电源模块的设计与研究

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Design and Research of Miniaturized High-voltage AC Plasma Power Supply Module

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Received	Revised	Accepted	Published
2022-07-22	2022-08-20	2022-09-19	2025-09-30
Issue Date
2025-10-17

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