SiC MOSFET 器件栅氧可靠性研究综述

doi:10.13234/j.issn.2095-2805.2024.4.1

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电源学报 ›› 2024, Vol. 22 ›› Issue (4) : 1-11. DOI: 10.13234/j.issn.2095-2805.2024.4.1

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SiC MOSFET 器件栅氧可靠性研究综述

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Review on Gate Oxide Reliability of SiC MOSFET Devices

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Received	Revised	Accepted	Published
2024-03-11	2024-06-14	2024-06-24	2024-07-30
Issue Date
2024-07-02

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