垂直结构氮化镓功率晶体管的材料与工艺问题

肖明,胡杰,张宇昊

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电源学报 ›› 2019, Vol. 17 ›› Issue (3) : 16-25. DOI: 10.13234/j.issn.2095-2805.2019.3.16
SiC、GaN器件、新型功率器件及其应用

垂直结构氮化镓功率晶体管的材料与工艺问题

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Materials and Processing Issues in Vertical GaN Power Transistors

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